仪器名称
台阶仪
型号规格
D-100
价值(万元)
24.4
产地
美国-KLA
购置日期
2012.12.1
主要技术指标
测量厚度0.1微米~1mm,测量长度 1mm~1cm
应用范围
用于测试薄膜的厚度